Kľúčovým rozdielom medzi mikroanalýzou a semi-mikroanalýzou je to, že mikroanalýza sa používa na analýzu materiálu s hmotnosťou menej ako 10 mg, zatiaľ čo semi-mikroanalýza sa používa na analýzu materiálu s hmotnosťou okolo 100 až 500 mg.
Mikro a semi-mikroanalýza sú dva typy kvalitatívnej analýzy, ktorou je analýza materiálu na základe jeho vlastností namiesto jeho množstva. Mikroanalýza označuje analýzu materiálu s veľkosťou častíc v mikroskopickej mierke. Na mikroanalýzu je možné použiť rôzne metódy. Semi mikroanalýza je na druhej strane rozvinutou metódou mikroanalýzy.
